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高精度对位检测仪

日期：2023-03-22 来源：

主要功能及特色：

1.用于简易3D 成像的智能扫描和全新的高速拼接模式；

2.可以观察到纳米以下微小表面轮廓。

技术指标:

可以实现高达4096×4096像素的高精度扫描；水平（XY 方向）分辨率达到了0.12 μm，实现了高分辨的影像观察，Z 轴方向上具有10 nm 的分辨率，实现了3D 表面轮廓测量；紫色激光实现了非接触式的观察和测量。

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